电阻测试仪的原理及使用方法

一、内阻测量仪测量原里：

当三根彩石探头排排成条渐近线,同时以一 定负担压在半导体行业原材料上时,在1, 4几根探头间可以通过交流电I,则2, 3检测器间引发电极电位差V(如图如图)。

依据关系式可确定出村料的电阻功率率:

表中,C为四测试检测器的测试检测器指数(cm),它的长宽依赖于于四条线检测器的布局的办法和针距。

二、检测仪器运作:

(一)测评的准备工作:

1 ,将外接主机交流电源插口加入仪器设备后壳的外接主机交流电源电插座外接主机交流电源按钮开关放置到断电角度;

2,运作方案控制开关放入＇漏电"的具体位置直流电电开关趋于稳定蹦出的具体位置;

先将电原开关按钮放至开起选址,同量选定按钮开关放置在“过压”,展现大数字屏幕上显示,通电加温半半小时里。

3,将带有大量手动测评架的屏弊线插销与电=气箱的设置墙壁插座连结好;

4,对软件测试合格品实行特定的清理(如喷沙,保养等);

5,的调节内温度表及绝对湿度使之达标测验标准要求。

(二)试验:

先将外接电源旋转电开关放置到启用区域在测量会选择旋转电开关放置到"短路等问题" ,显现阿拉伯数字表现，通电升温30分钟左右.

1,摆放样件压下探失，将校正选定开防范于”刻量”地址，板性开妥善处理于旋钮右下方;

2.抉择非常合适的输出功率示值和工作电流示值，数字式表明核心为0000”,著末位有想法字,可滑动调零转换能好使之出现为0000"; .

3.将操作方案转换开关置放"1调节器"轻按直流电压控制开关.资动工作电流调整转钮,使数值出现为"1000”读值一般选择各工作电流测量范围的满测量范围值;

4.再将性开笑压F.便数显仪表也为1000+1,温出电源适配器电打开将作业策略电打开移至1或06.28处(感应器问距为1.59mm时放入1地址问距为1mm时置放6.28位址):

《师节功率后。这些步疆在未来的日子里的肉量中不一定必多次重复:唯有自动调节好后，收起直流电控制开关,可由政显立即读出衡量值)

5.若数显仪表爐灭,仅剿”1"说明小于该分度值交流电压值,可将电流量理电源开关拨到档位;

6,读数后，将性旋转开关拨至另一个说的是方,可读出负性时的魔量值，将十次侧量值取均数即是产品的样品在该处的功率电阻率值。

三、主意细节:

1.压下深头时负担要正合适,为了避免想坏电极。

2.原因试品界面电阻功率可松区域欠佳,8量时该对这个样品英文多测两个点而后取平均水平置:

3.样品管理的预期电阻功率率还与此体积尺寸关以,还需查时中的厚魔测量案数，使用惨正